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 您的位置:工标网 >> 国家标准(GB) >> GB/T 24582-2009

酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质

国家标准
标准编号:GB/T 24582-2009 标准状态:现行
标准价格:14.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了用酸从多晶硅块表面浸取金属杂质,并用电感耦合等离子质谱仪定量检测多晶硅表面上的金属杂质痕量分析方法。
本标准适用于碱金属、碱土金属和第一系列过渡元素如钠、钾、钙、铁、镍、铜、锌以及其他元素如铝的检测。
本标准适用于各种棒、块、粒、片状多晶表面金属污染物的检测。由于块、片或粒形状不规则,面积很难准确测定,故根据样品重量计算结果,使用的样品重量为50g~300g,检测限为0.01ng/mL。
英文名称:  Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合
什么是ICS分类?  ICS分类:  电气工程>>29.045半导体材料
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2009-10-30
实施日期:  2010-06-01
首发日期:  2009-10-30
提出单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
主管部门:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
起草单位:  新光硅业科技责任有限公司
起草人:  王波、过惠芬、吴道荣、梁洪、敖细平
计划单号:  20073569-T-469
页数:  8页
出版社:  中国标准出版社
书号:  155066·1-39583
出版日期:  2010-06-01
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前言
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准负责起草单位:新光硅业科技责任有限公司。
本标准主要起草人:王波、过惠芬、吴道荣、梁洪、敖细平。
本标准相关公告
·中华人民共和国国家标准批准发布公告2009年第12号(总第152号) [2009-11-17]

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