| 标准编号 |
标准名称 |
发布部门 |
实施日期 |
状态 |
| GB/T 1558-1997 |
硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法 |
国家技术监督局
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1998-08-01 |
作废 |
| GB/T 1558-2009 |
硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
作废 |
| GB/T 16595-1996 |
晶片通用网格规范 |
国家技术监督局
|
1997-04-01 |
作废 |
| GB/T 16595-2019 |
晶片通用网格规范 |
国家市场监督管理总局.
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2020-02-01 |
现行 |
| GB/T 16596-1996 |
确定晶片坐标系规范 |
国家技术监督局
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1997-04-01 |
作废 |
| GB/T 16596-2019 |
确定晶片坐标系规范 |
国家市场监督管理总局.
|
2020-02-01 |
现行 |
| GB/T 17169-1997 |
硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法 |
国家技术监督局
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1998-08-01 |
作废 |
| GB/T 17170-1997 |
非掺杂半绝缘砷化镓单晶深能级EL2浓度红外吸收测试方法 |
国家技术监督局
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1998-08-01 |
作废 |
| GB/T 19199-2003 |
半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法 |
国家标准化管理委员会
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2004-01-01 |
作废 |
| GB/T 20228-2006 |
砷化镓单晶 |
国家质量监督检验检疫.
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2006-10-01 |
作废 |
| GB/T 20228-2021 |
砷化镓单晶 |
国家市场监督管理总局.
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2021-12-01 |
现行 |
| GB/T 20229-2006 |
磷化镓单晶 |
国家质量监督检验检疫.
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2006-10-01 |
作废 |
| GB/T 20229-2022 |
磷化镓单晶 |
国家市场监督管理总局.
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2022-10-01 |
现行 |
| GB/T 20230-2006 |
磷化铟单晶 |
国家质量监督检验检疫.
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2006-10-01 |
作废 |
| GB/T 20230-2022 |
磷化铟单晶 |
国家市场监督管理总局.
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2022-10-01 |
现行 |
| GB/T 24574-2009 |
硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
现行 |
| GB/T 24575-2009 |
硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
现行 |
| GB/T 24576-2009 |
高分辩率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
现行 |
| GB/T 24577-2009 |
热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
现行 |
| GB/T 24578-2009 |
硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
作废 |
| GB/T 24579-2009 |
酸浸取 原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属污染物 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
现行 |
| GB/T 24580-2009 |
重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
现行 |
| GB/T 24581-2009 |
低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
作废 |
| GB/T 24582-2009 |
酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
作废 |
| GB/T 25074-2010 |
太阳能级多晶硅 |
国家质量监督检验检疫.
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2011-04-01 |
作废 |
| GB/T 25074-2017 |
太阳能级多晶硅 |
国家质量监督检验检疫.
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2018-05-01 |
现行 |
| GB/T 25074-2017E |
太阳能级多晶硅（英文版） |
General Ad.
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2018-05-01 |
现行 |
| GB/T 25075-2010 |
太阳能电池用砷化镓单晶 |
国家质量监督检验检疫.
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2011-04-01 |
现行 |
| GB/T 25076-2010 |
太阳电池用硅单晶 |
国家质量监督检验检疫.
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2011-04-01 |
作废 |
| GB/T 25076-2018 |
太阳能电池用硅单晶 |
国家市场监督管理总局.
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2019-06-01 |
现行 |
| GB/T 26065-2010 |
硅单晶抛光试验片规范 |
国家质量监督检验检疫.
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2011-10-01 |
现行 |
| GB/T 26066-2010 |
硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2011-10-01 |
现行 |
| GB/T 26067-2010 |
硅片切口尺寸测试方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2011-10-01 |
现行 |
| GB/T 26068-2010 |
硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2011-10-01 |
作废 |
| GB/T 26069-2010 |
硅退火片规范 |
国家质量监督检验检疫.
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2011-10-01 |
作废 |
| GB/T 26069-2022 |
硅单晶退火片 |
国家市场监督管理总局.
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2022-10-01 |
现行 |
| GB/T 26071-2010 |
太阳能电池用硅单晶切割片 |
国家质量监督检验检疫.
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2011-10-01 |
作废 |
| GB/T 26071-2018 |
太阳能电池用硅单晶片 |
国家市场监督管理总局.
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2019-04-01 |
现行 |
| GB/T 26072-2010 |
太阳能电池用锗单晶 |
国家质量监督检验检疫.
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2011-10-01 |
现行 |
| GB/T 2881-2008 |
工业硅 |
国家质量监督检验检疫.
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2008-09-01 |
作废 |