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| 英文名称： |
Test method for measuring resistivity of monocrystal silicon |
| 标准状态： |
已作废 |
 替代情况： |
被GB/T 1551-2021代替;替代GB/T 1551-1995;GB/T 1552-1995 |
| 中标分类： |
冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合 |
| ICS分类： |
电气工程>>29.045半导体材料 |
| 采标情况： |
MOD SEMI MF 84-1105;SEMI MF 397-1106 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2009-10-30 |
| 实施日期： |
2010-06-01
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| 作废日期： |
2021-12-01
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| 首发日期： |
1979-05-26 |
| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会 |
| 主管部门： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会 |
| 起草单位： |
信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 起草人： |
李静、何秀坤、张继荣、段曙光 |
| 计划单号： |
20060505-T-469 |
| 页数： |
24页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2010-06-01 |