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标准编号 标准名称 发布部门 实施日期 状态
 GB/T 35305-2017  太阳能电池用砷化镓单晶抛光片 国家质量监督检验检疫. 2018-07-01 现行
 GB/T 35307-2017  流化床法颗粒硅 国家质量监督检验检疫. 2018-07-01 作废
 GB/T 35307-2023  流化床法颗粒硅 国家市场监督管理总局. 2024-03-01 现行
 GB/T 35308-2017  太阳能电池用锗基Ⅲ-Ⅴ族化合物外延片 国家质量监督检验检疫. 2018-07-01 现行
 GB/T 35310-2017  200mm硅外延片 国家质量监督检验检疫. 2018-07-01 现行
 GB/T 35316-2017  蓝宝石晶体缺陷图谱 国家质量监督检验检疫. 2018-07-01 现行
 GB/T 36706-2018  磷化铟多晶 国家市场监督管理总局. 2019-06-01 现行
 GB/T 37051-2018  太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法 2019-04-01 现行
 GB/T 37053-2018  氮化镓外延片及衬底片通用规范 国家市场监督管理总局. 2019-07-09 现行
 GB/T 40561-2021  光伏硅材料 氧含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法 国家市场监督管理总局. 2022-05-01 现行
 GB/T 40566-2021  流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法 国家市场监督管理总局. 2022-05-01 现行
 GB/T 4058-2009  硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行
 GB/T 4061-2009  硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行
 GB/T 41325-2022  集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片 国家市场监督管理总局. 2022-10-01 现行
 GB/T 41652-2022  刻蚀机用硅电极及硅环 国家市场监督管理总局. 2023-02-01 现行
 GB/T 43662-2024  蓝宝石图形化衬底片 国家市场监督管理总局. 2024-10-01 现行
 GB/T 43885-2024  碳化硅外延片 国家市场监督管理总局. 2024-11-01 现行
 GB/T 5238-2019  锗单晶和锗单晶片 国家市场监督管理总局. 2020-05-01 现行
 GB/T 6616-2009  半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 作废
 GB/T 6617-2009  硅片电阻率测定 扩展电阻探针法 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行
 GB/T 6618-2009  硅片厚度和总厚度变化测试方法 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行
 GB/T 6619-2009  硅片弯曲度测试方法 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行
 GB/T 6620-2009  硅片翘曲度非接触式测试方法 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行
 GB/T 6621-2009  硅片表面平整度测试方法 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行
 GB/T 6624-2009  硅抛光片表面质量目测检验方法 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行
 GB/T 8646-1998  半导体键合铝-1%硅细丝 国家质量技术监督局 1999-02-01 作废
 GB/T 8756-2018  锗晶体缺陷图谱 国家市场监督管理总局. 2019-07-01 现行
 SJ/T 11396-2009  氮化镓基发光二极管蓝宝石衬底片 工业和信息化部 2010-01-01 废止
 SJ 20866-2003  交叉辗压钼铼合金片规范 信息产业部 2004-03-01 现行
 T/CEMIA 023-2021  半导体单晶硅生长用石英坩埚 中国电子材料行业协会 2021-12-25 现行
 T/CEMIA 024-2021  半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范 中国电子材料行业协会 2021-12-25 现行
 T/IAWBS 001-2017  碳化硅单晶 中关村天合宽禁带半导. 2017-12-31 现行
 T/IAWBS 003-2017  碳化硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法 中关村天合宽禁带半导. 2017-12-31 现行
 T/QGCML 1928-2023  光纤激光器组件(TOSA)生产工艺规范 全国城市工业品贸易中. 2023-11-09 现行
 YS/T 1160-2016  工业硅粉定量相分析 二氧化硅含量的测定 X射线衍射K值法 工业和信息化部 2017-01-01 现行
 YS/T 1167-2016  硅单晶腐蚀片 工业和信息化部 2017-01-01 现行
 YS/T 13-2015  高纯四氯化锗 工业和信息化部 2015-10-01 现行
 YS/T 15-1991  硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法 1992-06-01 作废
 YS/T 209-1994  硅材料原生缺陷图谱 中国有色金属工业总公. 1988-03-01 废止
 YS/T 222-1996  碲锭 1993-03-01 作废
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