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英文名称: |
Granular polysilicon produced by fluidized bed method—Determination of hydrogen—Pulse heating inert gas fusion infrared absorption method |
中标分类: |
冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料 |
ICS分类: |
电气工程>>29.045半导体材料 |
发布部门: |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
发布日期: |
2021-10-11 |
实施日期: |
2022-05-01
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提出单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
归口单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
起草单位: |
无锡市产品质量监督检验院、上海赛夫特半导体材料有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、无锡市分析测试学会、中国电子技术标准化研究院、无锡市计量测试院等 |
起草人: |
何莉、杨君、王美娟、蒋威、丁彬斌、鲍军、刘晓霞、鲁文锋、王旭辉、王彬、王赶强、梁洪、楚东旭、邱艳梅、马昀锋、黄国平、王桃霞、薛小强、罗海燕、马冲先、何永强 |
页数: |
12页 |
出版社: |
中国标准出版社 |
出版日期: |
2021-10-01 |