工标网 回首页
标准分类  最新标准New!  标准公告 标准动态  标准论坛
 高级查询
帮助 | 登录 | 注册
查标准上工标网 免费查询标准最新替代作废信息
 您的位置:工标网 >> >> GB/T 26069-2010

硅退火片规范

国家标准
标准编号:GB/T 26069-2010 标准状态:现行
标准价格:16.0 客户评分:星星星星1
本标准有现货可当天发货一线城市最快隔天可到!
点击放入购物车 如何购买?问客服 放入收藏夹,免费跟踪本标准更替信息! 参与评论本标准
标准简介
本标准规定了半导体器件和集成电路制造用硅退火抛光片的要求、试验方法、检验规则等。
本标准适用于线宽180nm、130nm 和90nm 工艺退火硅片。
英文名称:  Specification for silicon annealed wafers
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合
什么是ICS分类?  ICS分类:  电气工程>>29.045半导体材料
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2011-01-10
实施日期:  2011-10-01
首发日期:  2011-01-10
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
主管部门:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
起草单位:  万向硅峰电子股份有限公司、有研半导体材料股份公司、宁波立立电子股份有限公司和杭州海纳半导体有限公司
起草人:  楼春兰、孙燕、朱兴萍、宫龙飞、王飞尧、黄笑容、方强、汪成生、程国庆
页数:  12页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2011-10-01
  [ 评论 ][ 关闭 ]
前言
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)负责归口。
本标准起草单位:万向硅峰电子股份有限公司、有研半导体材料股份公司、宁波立立电子股份有限公司和杭州海纳半导体有限公司共同负责起草。
本标准主要起草人:楼春兰、孙燕、朱兴萍、宫龙飞、王飞尧、黄笑容、方强、汪成生、程国庆。
引用标准
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T1550 非本征半导体材料导电类型测试方法
GB/T1554 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
GB/T1555 半导体单晶晶向测定方法
GB/T1557 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
GB/T2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T4058 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
GB/T6616 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测定 非接触涡流法
GB/T6618 硅片厚度和总厚度变化测试方法
GB/T6620 硅片翘曲度非接触式测试方法
GB/T6621 硅抛光片表面平整度测试方法
GB/T6624 硅抛光片表面质量目测检验方法
GB/T11073 硅片径向电阻率变化的测量方法
GB/T13387 硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法
GB/T13388 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
GB/T14140 硅片直径测量方法
GB/T14144 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
GB/T14264 半导体材料术语
GB/T19921 硅抛光片表面颗粒测试方法
GB/T24578 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法
YS/T26 硅片边缘轮廓检验方法
本标准相关公告
·中华人民共和国国家标准批准发布公告2011年第01号  [2011-01-28]

半金属与半导体材料综合相关标准 第1页 
 GB/T 29057-2012 用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程
 GB/T 29505-2013 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法
 GB/T 30110-2013 空间红外探测器碲镉汞外延材料参数测试方法
 GB/T 30453-2013 硅材料原生缺陷图谱
 GB/T 32279-2015 硅片订货单格式输入规范
 GB/T 34479-2017 硅片字母数字标志规范
 GB/T 37051-2018 太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法
 GB/T 4058-2009  硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
 GB/T 4061-2009  硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
 GB/T 6616-2009  半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法
 免费下载半金属与半导体材料综合标准相关目录

半导体材料相关标准 第1页 第2页 
 GB/T 26071-2018 太阳能电池用硅单晶片
 GB/T 26072-2010 太阳能电池用锗单晶
 GB/T 2881-2008 工业硅
 GB/T 2881-2014 工业硅
 GB/T 2881-2014E 工业硅(英文版)
 GB/T 29054-2012 太阳能级铸造多晶硅块
 GB/T 29054-2019 太阳能电池用铸造多晶硅块
 GB/T 29055-2012 太阳电池用多晶硅片
 GB/T 29055-2019 太阳能电池用多晶硅片
 GB/T 29504-2013 300mm 硅单晶
 免费下载半导体材料标准相关目录

 发表留言
内 容
  用户:   口令:  
 
 
客服中心
有问题?找在线客服 点击和客服交流,我们的在线时间是:工作日8:30至18:00,节假日;9:00至17:00。工标网欢迎您和我们联系!
未开通400地区或小灵通请直接拨打0898-3137 2222 4007255888 (市话)
客服QQ 1006926259 569872709
MSN或电子邮件 Csres@vip.126.com
温馨提示:标准更新替换较快,请注意您购买的标准时效性。
常见问题 帮助中心
我为什么找不到我想要的标准?
配送范围、配送时间和收费标准
如何付款,支持哪些付款方式?
您可能还需要 更多
灾后过渡性安置区基本公共服务 第3部..
中国颜色体系 GB/T 15608-2006
气枪震源使用技术规范
货车安全技术的一般规定
通用阀门 铜合金铸件技术条件..
碳素结构钢冷轧薄钢板及钢带
60°密封管螺纹 GB/T 12716-2011
碳素结构钢冷轧钢带
必备软件下载
Adobe Acrobat Reader 是一个查看、 阅读和打印PDF文件的最佳工具,通 过它可以查阅本站的标准文档
pdf下载
搜索更多
google 中搜索:GB/T 26069-2010 硅退火片规范
baidu 中搜索:GB/T 26069-2010 硅退火片规范
yahoo 中搜索:GB/T 26069-2010 硅退火片规范
soso 中搜索:GB/T 26069-2010 硅退火片规范
中搜索:GB/T 26069-2010 硅退火片规范
 
付款方式 - 关于我们 - 帮助中心 - 联系我们 - 诚聘英才 - 合作伙伴 - 使用条款 -
QQ:1006926259 569872709 MSN/EMail: Csres@vip.126.com
Copyright © 工标网 2005-2009,All Right Reserved  国家标准发行授权书