GB/T 15615-1995 硅片抗弯强度测试方法国家标准(GB)-工标网

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标准简介

本标准规定了硅单晶切割片、研磨片和抛光片的抗弯强度测试方法。本标准适用于晶向为〈111〉和〈100〉的直拉、悬浮区熔硅单晶片的常温下抗弯强度的测量。硅片厚度为250～900μm。


英文名称：	Test method for measuring flexure strength of silicon slices
标准状态：	已作废
中标分类：	冶金>>金属理化性能试验方法>>H23金属工艺性能试验方法
ICS分类：	冶金>>金属材料试验>>77.040.01金属材料试验综合
UDC分类：	669.782-41;620.173.26
发布部门：	国家技术监督局
发布日期：	1995-07-12
实施日期：	1996-02-01
作废日期：	2005-10-14
首发日期：	1995-07-12
复审日期：	2004-10-14
归口单位：	全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门：	国家标准化管理委员会
起草单位：	中南工业大学
页数：	平装16开，页数：9，字数：14千字
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