电子级氧 |
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| 标准编号：SJ 2796-1987 |
标准状态：已废止 |
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| 标准价格：8.0 元 |
客户评分：  |
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本标准适用于半导体分立器件和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氧、按其使用要求电子级氧分为两级，代号为：电子 Ⅰ级氧代号为：DZO2-Ⅰ ; Ⅱ级氩代号为：DZO2- Ⅱ |
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| 英文名称： |
Electronic grade Oxygen |
| 标准状态： |
已废止 |
 中标分类： |
综合>>标准化管理与一般规定>>A01技术管理 |
| 采标情况： |
SEMI标准 NEQ |
| 发布部门： |
中华人民共和国电子工业部 |
| 发布日期： |
1987-04-06 |
| 实施日期： |
1988-01-01
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| 作废日期： |
2010-01-20
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| 提出单位： |
中国电子学会洁净技术学会 |
| 起草单位： |
电子工业部第二十四研究所、电子工业部标准化研究所 |
| 起草人： |
林耀泽、赵长春、周定华 |
| 页数： |
3页 |
| 出版社： |
电子工业出版社 |
| 出版日期： |
1988-01-01 |
| 标准前页： |
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