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电子工业用气体 氨

国家标准
标准编号:GB/T 14601-2009 标准状态:现行
标准价格:16.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了氨的技术要求,试验方法,检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。
本标准适用于半导体工业,氮化硅、氮化镓的化学气相淀积,也可用于硅或氧化硅的氮化。
英文名称:  Gas for electronic industry—Ammonia
什么是替代情况? 替代情况:  替代GB/T 14601-1993
什么是中标分类? 中标分类:  化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2009-10-30
实施日期:  2010-05-01
首发日期:  1993-08-26
提出单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
主管部门:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:  大连光明化工研究院、中国西南油气田成都天然气化工总厂、武汉市鼎立化工有限责任公司、西南化工研究设计院
起草人:  孙福楠、刘泽军、付永成、谢国清、周鹏云
计划单号:  20062750-T-469
页数:  12页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2010-05-01
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前言
本标准代替GB/T14601-1993《电子工业用气体 氨》。
本标准与GB/T14601-1993相比主要变化如下:
---修改标准的名称;
---修改适用范围(GB/T14601-1993的第1章,本版的第1章);
---修改规范性引用文件(GB/T14601-1993的第2章,本版的第2章);
---修改技术指标内容(GB/T14601-1993的第3章,本版的第3章);
---增加对氨尾气处理的要求(见4.3);
---删去按GB5831规定的方法测定氧含量(GB/T14601-1993的4.2.1);
---修改氧、氮、一氧化碳含量的测定(GB/T14601-1993的4.2、4.3、4.4,本版的4.4);
---增加氢、氩含量的测定(见4.4);
---增加二氧化碳含量的测定(见4.4);
---修改烃含量的测定(GB/T14601-1993的4.5,本版的4.4);
---修改水含量的测定方法(GB/T14601-1993的4.6,本版的4.5);
---增加金属离子的测定方法(见4.6);
---修改标志、包装、贮运及安全(GB/T14601-1993的第6章、第7章,本版的第5章);
---增加规范性附录A,并把采用氦放电离子化气相色谱法测定氨中的氢、氧(氩)、氮、一氧化碳、
二氧化碳和烃(C1~C3)含量组分的方法写入该附录(见附录A)。
本标准的附录A 为规范性附录。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会归口。
本标准起草单位:大连光明化工研究院、中国西南油气田成都天然气化工总厂、武汉市鼎立化工有限责任公司、西南化工研究设计院。
本标准主要起草人:孙福楠、刘泽军、付永成、谢国清、周鹏云。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
---GB/T14601-1993。
引用标准
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
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