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 您的位置:工标网 >> 有色金属行业标准(YS) >> YS/T 15-2015

硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法

国家标准
标准编号:YS/T 15-2015 标准状态:现行
标准价格:14.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了测定硅外延层和扩散层厚度的磨角染色法。
本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量,测量范围:1μm~100μm。
什么是替代情况? 替代情况:  替代YS/T 15-1991;
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  冶金>>77.040金属材料试验
发布部门:  中华人民共和国工业和信息化部
发布日期:  2015-04-30
实施日期:  2015-10-01
页数:  8 页
出版社:  中国标准出版社
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