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| 英文名称： |
Requirements for load ports of 300 mm semiconductor equipment |
| 标准状态： |
即将实施 |
 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备 |
| ICS分类： |
电子学>>31.260光电子学、激光设备 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2024-08-23 |
| 实施日期： |
2025-03-01
即将实施 距离实施日期还有98天 |
| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 起草单位： |
上海微电子装备(集团)股份有限公司、中国电子技术标准化研究院、北京北方华创微电子装备有限公司、中微半导体设备(上海)股份有限公司、漳州市太龙照明工程有限公司、深圳市埃芯半导体科技有限公司、苏州镁伽科技有限公司、中电鹏程智能装备有限公司 |
| 起草人： |
胡松立、李运锋、吴怡然、曹可慰、赵俊莎、周晓锋、李殿浦、武小娟、朱明、李英、张宝帅、洪峰、张志勇、乔志新、王鸣昕 |
| 页数： |
16页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |