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标准编号
标准名称
发布部门
实施日期
状态
GB/T 13840-1992
晶片承载器
国家技术监督局
1993-08-01
作废
GB/T 14276-1993
绕接工具总规范
国家技术监督局
1993-01-01
作废
GB/T 15394-1994
多探针测试台通用技术条件
国家技术监督局
1995-08-01
现行
GB/T 15861-1995
离子束蚀刻机通用技术条件
国家技术监督局
1996-08-01
作废
GB/T 15861-2012
离子束蚀刻机通用规范
国家质量监督检验检疫.
2013-02-15
现行
GB/T 15862-1995
离子注入机通用技术条件
国家技术监督局
1996-08-01
作废
GB/T 15862-2012
离子注入机通用规范
国家质量监督检验检疫.
2013-02-15
现行
GB/T 15870-1995
硬面光掩模用铬薄膜
国家技术监督局
1996-08-01
现行
GB/T 15871-1995
硬面光掩模基板
国家技术监督局
1996-08-01
现行
GB/T 15872-1995
半导体设备电源接口
国家技术监督局
1996-08-01
作废
GB/T 15873-1995
半导体设施接口技术文件编写导则
国家技术监督局
1996-08-01
现行
GB/T 16878-1997
用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
国家技术监督局
1998-03-01
现行
GB/T 16879-1997
掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则
国家技术监督局
1998-03-01
现行
GB/T 16880-1997
光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
国家技术监督局
1998-03-01
现行
GB/T 37947.4-2024
信息技术 用能单位能耗在线监测系统 第4部分:能源品种采集
国家市场监督管理总局.
2025-02-01
现行
GB/T 43725-2024
直写成像式曝光设备
国家市场监督管理总局.
2024-10-01
现行
GB/T 43796-2024
集成电路封装设备远程运维 数据采集
国家市场监督管理总局.
2024-10-01
现行
GB/T 43972-2024
集成电路封装设备远程运维 状态监测
国家市场监督管理总局.
2024-11-01
现行
GB/T 44375-2024
300mm半导体设备装载端口要求
国家市场监督管理总局.
2025-03-01
即将实施
GB/T 44631-2024
晶片承载器传输并行接口要求
国家市场监督管理总局.
2025-04-01
即将实施
SJ 1000-1975
引伸凸模
第四机械工业部
1976-01-01
现行
SJ 1001-1975
首次引伸压边圈
1976-01-01
废止
SJ 1002-1975
以后各次引伸压边圈
1976-01-01
废止
SJ 1003-1975
通用模架
1976-01-01
现行
SJ 1004-1975
上托
1976-01-01
现行
SJ 1005-1975
底座
1976-01-01
现行
SJ 1006-1975
下压板
1976-01-01
现行
SJ 1007-1975
上压板
1976-01-01
现行
SJ 1008-1975
螺钉
1976-01-01
现行
SJ 1009-1975
手柄翻开式钻模 模架
1976-06-01
现行
SJ 1010-1975
手柄翻开式钻模 钻模板
第四机械工业部
1976-06-01
废止
SJ 1011-1975
手柄翻开式钻模 压板
1976-06-01
废止
SJ 1012-1975
手柄翻开式钻模 搭扣
1976-06-01
废止
SJ 1013-1975
手柄翻开式钻模 导柱
1976-06-01
废止
SJ 1014-1975
手柄翻开式钻模 钻脚
第四机械工业部
1976-06-01
废止
SJ 1015-1975
手柄翻开式钻模 支柱
第四机械工业部
1976-06-01
废止
SJ 1016-1975
手柄翻开式钻模 支架
第四机械工业部
1976-06-01
废止
SJ 1017-1975
手柄翻开式钻模 钻套
第四机械工业部
1976-06-01
废止
SJ/T 10519.01-1994
塑料注射模零件 模板
电子工业部
2002-05-01
现行
SJ/T 10519.02-1994
塑料注射模零件 垫块
电子工业部
1994-10-01
现行
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