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| 英文名称： |
Requirements for wafer carrier handoff parallel I/O interface |
| 标准状态： |
即将实施 |
 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备 |
| ICS分类： |
电子学>>31.260光电子学、激光设备 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2024-09-29 |
| 实施日期： |
2025-04-01
即将实施 距离实施日期还有129天 |
| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 起草单位： |
北京北方华创微电子装备有限公司、中国电子技术标准化研究院、漳州市太龙照明工程有限公司、浙江中聚材料有限公司 |
| 起草人： |
程朝阳 田涛 赵俊莎 孙岩 曹可慰 吴怡然 李英 钟结实 张宝帅 李殿浦 蔡书义 王凯 郭训容 刘学庆 武小娟 |
| 页数： |
40页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |