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用于集成电路制造技术的检测图形单元规范

国家标准
标准编号:GB/T 16878-1997 标准状态:现行
标准价格:31.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本规范规定若干种标准测试图形,用以对集成电路生产中所用的微图形设备、计量仪器和工艺进行一致的全面评估和检测。
英文名称:  Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture
什么是中标分类? 中标分类:  电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备
什么是ICS分类?  ICS分类:  电子学>>31.200集成电路、微电子学
什么是采标情况? 采标情况:  SEMI P19-1992,IDT
发布部门:  国家技术监督局
发布日期:  1997-06-20
实施日期:  1998-03-01
首发日期:  1997-06-20
复审日期:  2004-10-14
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  中国科学院缩微电子中心
页数:  平装16开, 页数:14, 字数:24千字
出版社:  中国标准出版社
书号:  155066.1-14349
出版日期:  2004-04-11
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