集成电路用气体 二氟甲烷 |
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| 标准编号：T/ICMTIA ESG0019-2022 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：31.0 元 |
客户评分：  |
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本文件规定了电气特气二氟甲烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。本文件适用于由工业用二氟甲烷提纯得到的电子特气二氟甲烷。 |
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 ICS分类： |
综合、术语学、标准化、文献>>01.020术语学(原则和协调配合) |
| 发布部门： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 发布日期： |
2022-05-10 |
| 实施日期： |
2022-05-31
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| 提出单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 归口单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 起草单位： |
广东华特气体股份有限公司、福建德尔科技股份有限公司、福建博纯材料有限公司、江西华特电子化学品有限公司 |
| 起草人： |
傅铸红、陈艳珊、叶相平、林百志、张奎、龚施健、赖金香、于胜、陈金彬 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
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