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硅外延片

国家标准
标准编号:GB/T 14139-1993 标准状态:已作废
标准价格:8.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的N型外延层(N/N+)和在P型硅抛光片衬底上生长的P型外延层(P/P+)的同质硅外延片。产品用于制作半导体器件。
英文名称:  Silicon epitaxial wafers
标准状态:  已作废
什么是替代情况? 替代情况:  被GB/T 14139-2009代替
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>半金属与半导体材料>>H81半金属
什么是ICS分类?  ICS分类:  29.040.30
什么是UDC分类?  UDC分类:  669.782
什么是采标情况? 采标情况:  SEMI S2,REF
发布部门:  国家技术监督局
发布日期:  1993-02-06
实施日期:  1993-10-01
作废日期:  2010-06-01
首发日期:  1993-02-06
复审日期:  2004-10-14
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  上海第二冶炼厂
页数:  平装16开, 页数:8, 字数:11千字
出版社:  中国标准出版社
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