电子级氢 |
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标准编号:SJ 2794-1987 |
标准状态:已废止 |
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标准价格:8.0 元 |
客户评分: |
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本标准适用于半导体材料、分立器体和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氮,按其使用要求电子级氢,分为三级,代号为:电子Ⅰ级氮代号为:DZN2-Ⅰ;电子Ⅱ级氮代号为:DZN2-Ⅱ;电子Ⅲ级氮代号为:DZN2-Ⅲ。 |
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英文名称: |
Electronic grade Hydrogen |
标准状态: |
已废止 |
中标分类: |
综合>>标准化管理与一般规定>>A01技术管理 |
采标情况: |
SEMI标准 NEQ |
发布部门: |
中华人民共和国电子工业部 |
发布日期: |
1987-04-06 |
实施日期: |
1988-01-01
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作废日期: |
2010-01-20
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提出单位: |
中国电子学会洁净技术学会 |
起草单位: |
电子工业部标准化研究所 |
起草人: |
尹恩华、赵长春、周定华 |
页数: |
4页 |
出版社: |
电子工业出版社 |
出版日期: |
1988-01-01 |
标准前页: |
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客服中心 |
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