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标准编号 标准名称 发布部门 实施日期 状态  GB 12963-1991  硅多晶 1992-03-01 作废  GB/T 12963-1996  硅多晶 国家技术监督局 1997-04-01 作废  GB/T 12963-2009  硅多晶 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 作废  GB/T 4059-1983  硅多晶气氛区熔磷检验方法 国家标准局 1984-01-02 作废  GB/T 4059-2007  硅多晶气氛区熔基磷检验方法 国家质量监督检验检疫. 2008-02-01 作废  GB/T 4059-2018  硅多晶气氛区熔基磷检验方法 国家市场监督管理总局. 2019-11-01 现行  GB/T 4060-1983  硅多晶真空区熔基硼检验方法 国家标准局 1984-01-02 作废  GB/T 4060-2007  硅多晶真空区熔基硼检验方法 国家质量监督检验检疫. 2008-02-01 作废  GB/T 4060-2018  硅多晶真空区熔基硼检验方法 国家市场监督管理总局. 2019-06-01 现行  GB/T 4061-1983  硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法 国家标准局 1984-01-02 作废  GB/T 4061-2009  硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行  YB 1601-1983  硅多晶 1984-10-01 现行  YS/T 14-1991  异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法 1992-06-01 作废  YS/T 14-2015  异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法 工业和信息化部 2015-10-01 现行

共有14条符合状态条件的标准，共1页 现行 即将实施 作废 废止

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