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异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

标准
标准编号:YS/T 14-1991 标准状态:已作废
标准价格:8.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
标准状态:  已作废
什么是替代情况? 替代情况:  YS/T 14-2015代替
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料
发布日期:  1991-04-26
实施日期:  1992-06-01
作废日期:  2015-10-01
页数:  4页
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