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| 英文名称： |
Monocrystalline silicon polished wafers |
| 标准状态： |
已作废 |
 替代情况： |
GB/T 12964-1996;被GB/T 12964-2018代替 |
| 中标分类： |
冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料 |
| ICS分类： |
电气工程>>29.045半导体材料 |
| 采标情况： |
SEMI M1-0997,NEQ |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 |
| 发布日期： |
2003-06-01 |
| 实施日期： |
2004-01-01
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| 作废日期： |
2019-06-01
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| 首发日期： |
1991-06-04 |
| 复审日期： |
2004-10-14 |
| 提出单位： |
中国有色金属工业协会 |
| 归口单位： |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 主管部门： |
国家标准化管理委员会 |
| 起草单位： |
洛阳单晶硅厂 |
| 起草人： |
翟富义、孙燕、董慧燕、卢立延、曹孜、孙文海 |
| 页数： |
平装16开， 页数：11， 字数：17千字 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 书号： |
155066.1-19868 |
| 出版日期： |
2004-01-01 |
| 标准前页： |
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