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硅外延片

国家标准
标准编号:GB/T 14139-2019 标准状态:现行
标准价格:16.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了硅外延片的牌号和分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于在直径不大于150 mm的N型和P型硅抛光片衬底上生长的硅外延片。
英文名称:  Silicon epitaxial wafers
什么是替代情况? 替代情况:  替代GB/T 14139-2009
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料
什么是ICS分类?  ICS分类:  电气工程>>29.045半导体材料
发布部门:  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:  2019-06-04
实施日期:  2020-05-01
提出单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
主管部门:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员
起草单位:  浙江金瑞泓科技股份有限公司、南京国盛电子有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司
起草人:  张海英、李慎重、蒋玉龙、骆红、胡金枝、卢立延、李素青
页数:  12页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2019-06-01
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元素半导体材料相关标准 第1页 
 GB/T 19199-2003 半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法
 GB/T 25074-2010 太阳能级多晶硅
 GB/T 25074-2017 太阳能级多晶硅
 GB/T 25076-2018 太阳能电池用硅单晶
 GB/T 26071-2018 太阳能电池用硅单晶片
 GB/T 26072-2010 太阳能电池用锗单晶
 GB 2881-1991 工业硅技术条件
 GB/T 29054-2012 太阳能级铸造多晶硅块
 GB/T 29054-2019 太阳能电池用铸造多晶硅块
 GB/T 29055-2012 太阳电池用多晶硅片
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半导体材料相关标准 第1页 第2页 
 GB/T 14141-2009  硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
 GB/T 14144-2009  硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
 GB/T 14146-2009  硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
 GB/T 14264-2009  半导体材料术语
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