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标准编号 标准名称 发布部门 实施日期 状态  DB53/T 499-2013  多晶硅用三氯氢硅 云南省质量技术监督局 2013-10-01 废止  DB53/T 500-2013  多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法 云南省质量技术监督局 2013-10-01 废止  DB53/T 501-2013  多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定 电感耦合等离子体质谱法 云南省质量技术监督局 2013-10-01 废止  GB/T 28654-2012  工业三氯氢硅 国家质量监督检验检疫. 2013-06-01 作废  GB/T 28654-2018  工业三氯氢硅 国家市场监督管理总局. 2019-01-01 现行  GB/T 29056-2012  硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法 国家质量监督检验检疫. 2013-10-01 现行  GB/T 30652-2014  硅外延用三氯氢硅 国家质量监督检验检疫. 2015-09-01 作废  GB/T 30652-2023  硅外延用三氯氢硅 国家市场监督管理总局. 2024-03-01 现行  HG/T 4683-2014  三氯氢硅泄漏的处理处置方法 工业和信息化部 2014-11-01 现行  YS/T 1059-2015  硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法 工业和信息化部 2015-10-01 现行  YS/T 1060-2015  硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法 工业和信息化部 2015-10-01 现行

共有11条符合状态条件的标准，共1页 现行 即将实施 作废 废止

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