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蒸发镀膜设备基本参数系列

标准
标准编号:SJ/T 11131-1997 标准状态:已废止
标准价格:8.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。
本标准适用于极限压力为3 x 10-3P二一5 x ]0-6P:范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。
英文名称:  Basic parameter series of evaporation plating equipment
标准状态:  已废止
什么是替代情况? 替代情况:  SJ 1098-77 SJ 1099-77;公告:中华人民共和国工业和信息化部公告 2024年第17号
什么是中标分类? 中标分类:  医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理
什么是ICS分类?  ICS分类:  电子学>>31.020电子元件综合
发布部门:  中华人民共和国电子工业部
发布日期:  1997-09-03
实施日期:  1998-01-01
作废日期:  2024-07-11
复审日期:  2024-07-11
什么是归口单位? 归口单位:  电子工业部标准化研究所
起草单位:  成都南光实业股份有限公司
起草人:  陈华先、谭丽、康开丽
页数:  4页
出版社:  电子工业部标准化研究
出版日期:  1998-01-01
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