半导体单晶硅生长用石英坩埚 |
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| 标准编号：T/CEMIA 023-2021 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：18.0 元 |
客户评分：  |
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本文件界定了半导体单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义，规定了规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存。
本文件适用于以高纯石英砂(成分：二氧化硅)为原料，采用电弧熔融法生产，用于半导体单晶硅生长的石英坩埚。 |
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| 英文名称： |
Quartz crucible for semiconductor monosilicon growth |
 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料 |
| ICS分类： |
电气工程>>29.045半导体材料 |
| 发布部门： |
中国电子材料行业协会 |
| 发布日期： |
2021-07-15 |
| 实施日期： |
2021-12-25
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| 提出单位： |
中国电子材料行业协会 |
| 归口单位： |
中国电子材料行业协会 |
| 起草单位： |
内蒙古欧晶科技股份有限公司、锦州佑鑫石英科技有限公司、江西中昱新材料科技有限公司 |
| 起草人： |
何文兵、陈曼、苏光都、杜兴林、李宗辉、王文庆、朱旦、李晓航、朱剑、徐晓军、王君伟、王慧、韩东、李秀英、钱宜刚、贾建亮、万鹏远、潘志华、杨军、周锐 |
| 页数： |
16页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2021-08-01 |
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