集成电路用硝酸 |
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| 标准编号：T/ICMTIA PC008-2021 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：31.0 元 |
客户评分：  |
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本文件规定了集成电路用硝酸的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。
本文件适用于集成电路制造过程中使用的硝酸。分子式：HNO3相对分子质量：63.01（按2014年国际相对原子质量） |
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 ICS分类： |
电气工程>>29.045半导体材料 |
| 发布部门： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 发布日期： |
2021-05-31 |
| 实施日期： |
2021-07-30
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| 提出单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 归口单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 起草单位： |
中巨芯科技有限公司 |
| 起草人： |
陈刚、周黎旸、童继红、张学良、贺辉龙、赵晓亚、程文海、朱智敏、蒋梁疏、杨建成、徐建仙 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
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