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硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂

国家标准
标准编号:GB/T 16527-1996 标准状态:现行
标准价格:29.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内容。本标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。
英文名称:  Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates
什么是中标分类? 中标分类:  电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料
什么是ICS分类?  ICS分类:  电子学>>31.200集成电路、微电子学
什么是采标情况? 采标情况:  =SEMI P3-90
发布部门:  国家技术监督局
发布日期:  1996-09-09
实施日期:  1997-05-01
首发日期:  1996-09-09
复审日期:  2004-10-14
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  长沙韶光微电子总公司
页数:  平装16开, 页数:8, 字数:10千字
出版社:  中国标准出版社
书号:  155066.1-13733
出版日期:  2004-08-27
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