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表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法

国家标准
标准编号:GB/T 20175-2006 标准状态:现行
标准价格:38.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质,提供优化溅射深度剖析参数的指南。
英文名称:  Surface chemical analysis-Sputter depth profiling-Optimization using layered systems as reference materials
什么是中标分类? 中标分类:  仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析
什么是采标情况? 采标情况:  IDT ISO 14606:2000
发布部门:  国家标准化管理委员会
发布日期:  2006-03-27
实施日期:  2006-11-01
首发日期:  2006-03-27
提出单位:  全国微束分析标准化技术委员会
什么是归口单位? 归口单位:  全国微束分析标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  清华大学电子工程系
起草人:  查良镇、陈旭、王光普、黄雁华、黄天斌、刘林、葛欣、桂东
计划单号:  20020617-T-469
页数:  平装16开 页数:19, 字数:30千字
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2006-11-01
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