俄歇电子能谱分析方法通则 |
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| 标准编号：GB/T 26533-2011 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：31.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了以电子束为激发源的俄歇电子能谱(AES,AugerElectronSpectroscopy)的一般表面分析方法。
本标准适用于俄歇电子能谱仪。 |
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| 英文名称： |
General rules for Auger electron spectroscopic analysis |
 中标分类： |
仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器 |
| ICS分类： |
37.020;17.180 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2011-05-12 |
| 实施日期： |
2011-12-01
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| 首发日期： |
2011-05-12 |
| 提出单位： |
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 归口单位： |
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 主管部门： |
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 起草单位： |
清华大学化学系 |
| 起草人： |
姚文清、李展平、曹立礼、朱永法 |
| 页数： |
16页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2011-12-01 |
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本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本标准起草单位:清华大学化学系。
本标准主要起草人:姚文清、李展平、曹立礼、朱永法。 |
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前言 Ⅲ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 方法原理 1
5 仪器 2
5.1 仪器组成 2
5.2 仪器性能 3
6 样品 3
7 分析步骤 4
7.1 能量标尺校正 4
7.2 AES定性分析及操作步骤 6
7.3 俄歇电子能谱的定量分析 6
7.4 深度剖析 7
7.5 元素化学态分析 7
8 分析结果的表述 7
8.1 俄歇全谱 7
8.2 窄谱 7
8.3 线扫描谱 7
8.4 深度剖析谱 7
8.5 多点显微对比分析 8
8.6 样品表面元素分布图(Augermap) 8
8.7 分析结果表述方式 8
图1 KL1L3 俄歇跃迁 2
图2 俄歇电子能谱简图 2
图3 Cu、Au和Al三个参考物质的直接谱和微分谱(相对能量分辨率0.3%) 5
表1 参考物质的俄歇电子动能参考值 4 |
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GB/T22461—2008 表面化学分析 词汇
ISO/TR15969:2001 表面化学分析 深度分析 溅射深度的测量(SurfaceChemicalAnalysis—DepthProfiling—MeasurementofSputteredDepth)
ISO18116:2005 表面化学分析 表面分析样品的制备和固定方法指南(SurfaceChemicalAnalysis—GuidelinesforPreparationandMountingofSpecimensforAnalysis)
ISO18118:2002(E) 表面化学分析 AES和XPS均匀材料定量分析所用的实验相对灵敏度因子使用指南(SurfaceChemicalAnalysis—AESandXPS—GuidetouseofExperimentalRelativeSensitivityFactorsfortheQuantitativeAnalysisofHomogeneousMaterials)
ISO/TR18394:2006 表面化学分析 俄歇电子能谱 化学信息来源(SurfaceChemical
Analysis—AugerElectronSpectrometers—DerivationofChemicalInformation)
ISO/TR19319:2003 表面化学分析 俄歇电子能谱和X 射线光电子谱 分析者对于横向分辨率、分析范围和样品观察范围的测定(SurfaceChemicalAnalysis—AugerEletronSpectroscopyandXrayPhotoelectronSpectroscopy—
DeterminationofLateralResolution,Analysis Area,andSample
AreaViewedbytheAnalyser)
ASTM E1078—2002 表面分析中制样和装样的标准指南(StandsardGuideforSpecimenPreparationandMountinginSurfaceAnalysis)
ASTM E1829—2002 表面分析前样品处理标准指南(StandsardGuideforHandlingSpecimens
PriortoSurfaceAnalysis) |
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