半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范 |
 |
| 标准编号：T/CEMIA 024-2021 |
标准状态：现行 |
|
| 标准价格：16.0 元 |
客户评分：  |
|
|
立即购买工即可享受本标准状态变更提醒服务！ |
|
|
|
|
|
本文件确立了半导体单晶硅生长用石英坩埚从业人员、生产设备、主要原辅材料、生产工艺、作业环境及产品质量管控的程序和总体原则。
本文件适用于半导体单晶硅生长用石英坩埚的生产过程。 |
|
|
|
| 英文名称： |
Quartz crucible manufacturing practices for semiconductor monosilicon growth |
 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料 |
| ICS分类： |
电气工程>>29.045半导体材料 |
| 发布部门： |
中国电子材料行业协会 |
| 发布日期： |
2021-07-15 |
| 实施日期： |
2021-12-25
|
| 提出单位： |
中国电子材料行业协会 |
| 归口单位： |
中国电子材料行业协会 |
| 起草单位： |
锦州佑鑫石英科技有限公司、内蒙古欧晶科技股份有限公司、江西中昱新材料科技有限公司 |
| 起草人： |
陈曼、何文兵、苏光都、李宗辉、杜兴林、王文庆、朱旦、徐晓军、朱剑、李晓航、王君伟、王慧、韩东、李秀英、钱宜刚、贾建亮、万鹏远、潘志华、杨军、周锐 |
| 页数： |
12页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
|
|
|
|
| |
|
客服中心 |
| 有问题？找在线客服 |
 |
|
|
|
|
温馨提示：标准更新替换较快，请注意您购买的标准时效性。 |
|
|
|
|
| 必备软件下载 |
| Adobe Acrobat Reader 是一个查看、
阅读和打印PDF文件的最佳工具，通
过它可以查阅本站的标准文档 |
 |
|
|
|