集成电路用混合气体 1.25%氪/氖 |
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| 标准编号：T/ICMTIA ESG0012-2022 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：29.0 元 |
客户评分：  |
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本文件规定了集成电路用1.25%氪/氖混合气的技术要求、试验方法以及标志、包装、运输、储存的要求。
本文件适用于集成电路用1.25%氪/氖混合气,其它组分比例的氪氖混合气可以参考执行。 |
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 ICS分类： |
综合、术语学、标准化、文献>>01.020术语学(原则和协调配合) |
| 发布部门： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 发布日期： |
2022-04-08 |
| 实施日期： |
2022-05-01
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| 提出单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 归口单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 起草单位： |
中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八研究所 |
| 起草人： |
殷越玲、郑秋艳、崔雯、李旭、李帅楠、苏子杰、王蒙蒙、滕莹 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
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