集成电路用气体 锗烷 |
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| 标准编号：T/ICMTIA ESG0020-2022 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：31.0 元 |
客户评分：  |
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本文件规定了集成电路用锗烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。
本文件适用于采用氯化锗、氧化锗、锗镁合金等原料制备的锗烷经过纯化后获得的集成电路用锗烷。 |
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 ICS分类： |
综合、术语学、标准化、文献>>01.020术语学(原则和协调配合) |
| 发布部门： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 发布日期： |
2022-05-10 |
| 实施日期： |
2022-05-31
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| 提出单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 归口单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 起草单位： |
广东华特气体股份有限公司、福建博纯材料有限公司、福建德尔科技股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司 |
| 起草人： |
傅铸红、叶相平、陈艳珊、龚施健、徐孝天、于胜、陈金彬、林百志、赖金香、张奎 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
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