GB/T 16594-1996 微米级长度的扫描电镜测量方法国家标准(GB)-工标网

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标准简介

本标准规定了用扫描电镜测量微米级长度的方法，适用于测量0.5～10μm的长度，也适用于电子探针分析仪测量微米级长度。


英文名称：	Micron grade lenght measurement by SEM
标准状态：	已作废
替代情况：	被GB/T 16594-2008代替
中标分类：	仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器
ICS分类：	计量学和测量、物理现象>>长度和角度测量>>17.040.01长度和角度测量综合
发布部门：	国家技术监督局
发布日期：	1996-01-01
实施日期：	1997-04-01
作废日期：	2009-05-01
首发日期：	1996-11-04
复审日期：	2004-10-14
归口单位：	全国微束分析标准化技术委员会
主管部门：	国家标准化管理委员会
起草单位：	上海市测试技术研究所
页数：	平装16开，页数：6，字数：6千字
出版社：	中国标准出版社
书号：	155066.1-13653
出版日期：	2004-04-10
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