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英文名称: |
Gold-plated thickness measurement by SEM |
中标分类: |
仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器 |
ICS分类: |
成像技术>>37.020光学设备 |
发布部门: |
国家质量技术监督局 |
发布日期: |
1999-04-01 |
实施日期: |
1999-01-02
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首发日期: |
1999-04-11 |
复审日期: |
2004-10-14 |
归口单位: |
全国微束分析标准化技术委员会 |
主管部门: |
国家标准化管理委员会 |
起草单位: |
中国科学院北京科仪研制中心 |
页数: |
平装16开, 页数:7, 字数:10千字 |
出版社: |
中国标准出版社 |
书号: |
155066.1-15975 |
出版日期: |
2004-04-16 |
标准前页: |
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