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硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

国家标准
标准编号:GB/T 1554-1995 标准状态:已作废
标准价格:10.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了用择优腐蚀技术检验硅晶体完整性的方法。
英文名称:  Test method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques
标准状态:  已作废
什么是替代情况? 替代情况:  GB 1554-1979;GB 4057-1983;被GB/T 1554-2009代替
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>金属理化性能试验方法>>H26金属无损检验方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  冶金>>金属材料试验>>77.040.30金属材料化学分析
什么是UDC分类?  UDC分类:  669.782;621.193.4
什么是采标情况? 采标情况:  =ASTM F47-88
发布部门:  国家技术监督局
发布日期:  1995-04-18
实施日期:  1995-12-01
作废日期:  2010-06-01
首发日期:  1979-05-26
复审日期:  2004-10-14
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  峨嵋半导体材料厂
页数:  平装16开, 页数:12, 字数:20千字
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  1995-12-01
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本标准相关公告
·中华人民共和国国家标准批准发布公告2009年第12号(总第152号) [2009-11-17]

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