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硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法

国家标准
标准编号:GB/T 4058-1995 标准状态:已作废
标准价格:10.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法。本标准适用于硅抛光片表面区在模拟器件氧化工艺中诱生或增强的晶体缺陷的检测。
英文名称:  Test method for detection of oxidation induced defects in polished silicon wafers
标准状态:  已作废
什么是替代情况? 替代情况:  替代GB 4058-1983;GB 6622-1986;GB 6623-1986;被GB/T 4058-2009代替
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>金属理化性能试验方法>>H26金属无损检验方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  冶金>>金属材料试验>>77.040.30金属材料化学分析
什么是UDC分类?  UDC分类:  669.782-415.056.9;620.19
什么是采标情况? 采标情况:  ,
发布部门:  国家技术监督局
发布日期:  1995-04-18
实施日期:  1995-01-02
作废日期:  2010-06-01
首发日期:  1983-12-20
复审日期:  2004-10-14
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  峨嵋半导体材料厂
页数:  平装16开, 页数:11, 字数:18千字
出版社:  中国标准出版社
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