| 标准编号 |
标准名称 |
发布部门 |
实施日期 |
状态 |
| GB/T 44529-2024 |
微机电系统（MEMS）技术 射频MEMS环行器和隔离器 |
国家市场监督管理总局.
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2024-09-29 |
现行 |
| GB/T 44513-2024 |
微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法 |
国家市场监督管理总局.
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2025-01-01 |
即将实施 |
| GB/T 44517-2024 |
微机电系统（MEMS）技术 MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法 |
国家市场监督管理总局.
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2025-04-01 |
即将实施 |
| GB/T 44531-2024 |
微机电系统（MEMS）技术 基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范 |
国家市场监督管理总局.
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2024-09-29 |
现行 |
| GB/T 44515-2024 |
微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法 |
国家市场监督管理总局.
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2025-01-01 |
即将实施 |
| GB/T 26111-2023 |
微机电系统（MEMS）技术 术语 |
国家市场监督管理总局.
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2023-09-01 |
现行 |
| GB/T 42158-2023 |
微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法 |
国家市场监督管理总局.
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2023-07-01 |
现行 |
| GB/T 42191-2023 |
MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法 |
国家市场监督管理总局.
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2023-09-01 |
现行 |
| GB/T 42597-2023 |
微机电系统（MEMS）技术 陀螺仪 |
国家市场监督管理总局.
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2023-09-01 |
现行 |
| GB/T 42895-2023 |
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法 |
国家市场监督管理总局.
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2023-12-01 |
现行 |
| GB/T 42896-2023 |
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法 |
国家市场监督管理总局.
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2023-12-01 |
现行 |
| GB/T 42897-2023 |
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法 |
国家市场监督管理总局.
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2023-12-01 |
现行 |
| SJ 20527/5-2002 |
微波组件 WFK170018型单刀七掷开关详细规范 |
信息产业部
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2002-01-01 |
现行 |