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| 英文名称： |
Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS |
 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合 |
| ICS分类： |
电子学>>半导体器件>>31.080.99其他半导体器件 |
| 采标情况： |
IEC 62047-4:2008 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2016-08-29 |
| 实施日期： |
2017-03-01
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| 复审日期： |
2023-12-28 |
| 提出单位： |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 归口单位： |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 起草单位： |
中机生产力促进中心、中国电子科技集团公司第十三研究所、中北大学、南京理工大学、大连理工大学 |
| 起草人： |
李海斌、崔波、刘伟、石云波、裘安萍、施芹、杨拥军、刘冲 |
| 页数： |
24页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2017-03-01 |