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硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

国家标准
标准编号:GB/T 1557-2018 标准状态:现行
标准价格:29.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶晶体中间隙氧含量的方法。
本标准适用于室温电阻率大于0.1 Ω·cm的N型硅单晶和室温电阻率大于0.5 Ω·cm的P型硅单晶中间隙氧含量的测定。以常温红外设备测试时,氧含量(原子数)测试范围从1×1016 cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度;以低温红外设备测试时,氧含量(原子数)的测试范围从0.5×1015 cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度。
英文名称:  Test method for determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
什么是替代情况? 替代情况:  替代GB/T 1557-2006
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  冶金>>77.040金属材料试验
发布部门:  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:  2018-09-17
实施日期:  2019-06-01
提出单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
主管部门:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/T
起草单位:  新特能源股份有限公司、有研半导体材料有限公司、亚洲硅业(青海)有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、内蒙古盾安光伏科技有限公司、峨嵋半导体材料研究所、北京合能阳光新能源技术有限公司
起草人:  银波、夏进京、邱艳梅、刘国霞、柴欢、赵晶晶、刘文明、姚利忠、王海礼、邓浩、?高明?、郑连基、陈赫、石宇、杨旭、肖宗杰
页数:  12页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2018-09-01
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本标准相关公告
·中华人民共和国国家标准批准发布公告2018年第11号 [2018-09-27]
本标准相关资讯
·454项国家标准即将实施 涉及这些仪器分析方法 [2018-09-30]

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