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外延钉缺陷的检验方法

标准
标准编号:YS/T 24-1992 标准状态:已作废
标准价格:8.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标 准 规 定了外延钉缺陷的检验方法
本标 准 适 用于任何直径与晶向的硅外延片上高度不小于4,u m 的钉缺陷存在与否的判断。如果钉缺陷比少且 彼此不相连,本标准可用十钉缺陷的汁数。本标 准 不 能测量钉缺陷的高度
标准状态:  已作废
什么是替代情况? 替代情况:  YS/T 24-2016代替
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合
什么是ICS分类?  ICS分类:  电气工程>>29.045半导体材料
发布部门:  中国有色金属工业总公司
发布日期:  1992-03-09
实施日期:  1993-01-01
作废日期:  2016-09-01
提出单位:  中国有色金属工业总公司标准计量研究所
起草单位:  L海有色金属研究所
起草人:  施海青、金胜祖
页数:  2页
出版日期:  1993-01-01
标准前页:  
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本标准相关公告
·中华人民共和国行业标准备案公告 2016年(第6号) [2016-07-21]
·中华人民共和国工业和信息化部公告 2016年(第17号) [2016-05-04]

半金属与半导体材料综合相关标准 第1页 
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半导体材料相关标准 第1页 第2页 
 YS/T 28-1992 硅片包装
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