外延钉缺陷的检验方法 |
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| 标准编号：YS/T 24-1992 |
标准状态：已作废 |
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| 标准价格：8.0 元 |
客户评分：  |
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本标 准 规 定了外延钉缺陷的检验方法
本标 准 适 用于任何直径与晶向的硅外延片上高度不小于4,u m 的钉缺陷存在与否的判断。如果钉缺陷比少且 彼此不相连，本标准可用十钉缺陷的汁数。本标 准 不 能测量钉缺陷的高度 |
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