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硅片边缘轮郭检验方法

标准
标准编号:YS/T 26-1992 标准状态:已作废
标准价格:14.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了硅片边缘轮廓的检验方法。
本检验方法适用于检验倒角硅片的边缘轮廓.
标准状态:  已作废
什么是替代情况? 替代情况:  被YS/T 26-2016代替
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>半金属与半导体材料>>H81半金属
什么是ICS分类?  ICS分类:  电气工程>>29.045半导体材料
什么是采标情况? 采标情况:  ASTM F928-85 MOD
发布部门:  中国有色金属工业总公司
发布日期:  1992-03-09
实施日期:  1993-01-01
作废日期:  2017-01-01
提出单位:  中国有色金属工业总公司标准计量研究所
起草单位:  洛阳单晶硅厂
起草人:  王从赞、夏光勤
页数:  3页
出版日期:  1993-01-01
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本标准相关公告
·中华人民共和国行业标准备案公告 2016年(第11号) [2017-01-04]
·中华人民共和国工业和信息化部公告 2016年(第37号) [2016-07-29]

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