|
| 英文名称： |
Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process |
 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合 |
| ICS分类： |
电子学>>31.200集成电路、微电子学 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2016-08-29 |
| 实施日期： |
2017-03-01
|
| 复审日期： |
2023-12-28 |
| 提出单位： |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 归口单位： |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 起草单位： |
北京大学、中机生产力促进中心、大连理工大学、东南大学、北京青鸟元芯微系统科技有限公司 |
| 起草人： |
张大成、王玮、李海斌、杨芳、黄贤、何军、刘冲、刘伟、周再发、刘军山、李婷、姜博岩 |
| 页数： |
28页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2017-03-01 |