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英文名称: |
Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for KOH etch process |
中标分类: |
电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合 |
ICS分类: |
电子学>>31.200集成电路、微电子学 |
发布部门: |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
发布日期: |
2012-05-11 |
实施日期: |
2012-12-01
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首发日期: |
2012-05-11 |
复审日期: |
2023-12-28 |
提出单位: |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
归口单位: |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
主管部门: |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
起草单位: |
中国科学院上海微系统与信息技术研究所、重庆大学、东南大学、中国电子科技集团第四十九研究所、中机生产力促进中心 |
起草人: |
夏伟锋、熊斌、冯飞、戈肖鸿、周再发、李玉玲、贺学锋、田雷、刘伟 |
页数: |
12页 |
出版社: |
中国标准出版社 |
书号: |
155066·1-45572 |
出版日期: |
2012-12-01 |