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| 英文名称： |
Silicon-based MEMS fabrication technology—The basic regulation of layout design |
 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合 |
| ICS分类： |
电子学>>31.200集成电路、微电子学 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2012-05-11 |
| 实施日期： |
2012-12-01
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| 首发日期： |
2012-05-11 |
| 复审日期： |
2023-12-28 |
| 提出单位： |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 归口单位： |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 主管部门： |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 起草单位： |
北京大学、中机生产力促进中心、中国电子科技集团第十三研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、西北工业大学 |
| 起草人： |
张大成、王玮、刘伟、杨芳、姜森林、崔波、熊斌、乔大勇 |
| 页数： |
16页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2012-12-01 |