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| 英文名称： |
Micro-electromechanical system technology—General rules for the assessment of micro-geometrical parameters |
 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合 |
| ICS分类： |
电子学>>31.200集成电路、微电子学 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2011-01-10 |
| 实施日期： |
2011-10-01
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| 首发日期： |
2011-01-10 |
| 复审日期： |
2023-12-28 |
| 提出单位： |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 归口单位： |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 主管部门： |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 起草单位： |
中机生产力促进中心、西安交通大学、天津大学、中原工学院 |
| 起草人： |
丁红宇、张苹、刘伟、蒋庄德、景蔚萱、胡晓东、赵则祥 |
| 页数： |
16页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2011-10-01 |